水质参数：

1. 超纯水电阻率（25℃）：18.2 MΩ.cm
2. 纯水电导率（25℃）*：1-5μS/cm
3. 总有机碳（TOC）（经DP-RO处理）**：<10ppb
4. 细菌：<0.1CFU/mL
5. 颗粒物质（>0.2μm）：<1个/mL
6. 无机物离子去除率：≥99.5%
7. 重金属离子：≤0.1ppb
8. 硅去除率：>99%

水量参数：

1. 两级反渗透产水量（25℃）：5L/h
2. 纯水/超纯水定量取水：10mL～99L，数值任意设定，精度500mL以内达±2mL，500mL以上±1%
3. 取水流量：1～2L/min
4. 超纯水产水量***：6,000L
5. 水利用率：60～80%

*    在一般市政供水，电导率<1000μS/cm条件下
**   在一般市政供水，原水TOC<1000 ppb条件下
***  根据进水情况不同而不同